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热处理是简单地将晶圆加热和冷却来达到特定结果的制程。在热处理的过程中,在晶圆上没有增加或减去任何物质,另外会有一些污染物和水汽从晶圆上蒸发。 在离子注入制程后会有一步重要的热处理。掺杂原子的注入所造成
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第一步:根据电子电路工作原理绘制电子电路原理框图,第二步:将框图变为原理图。
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