脉冲激光沉积法制备二氧化钒薄膜的研究进展

主要阐述了脉冲激光沉积(PLD)技术在制备金属氧化物方面的物理过程和技术特点, 详细介绍了脉冲激光沉积制备二氧化钒(VO2)薄膜的工艺参数和国内外研究进展, 并与几种常规制备方法进行了对比, 给出了脉冲激光沉积掺杂对VO2薄膜特性的影响, 以及脉冲激光沉积制备VO2纳米材料, 讨论了脉冲激光沉积制备VO2薄膜存在的问题和发展方向。