1、引 言 在半导体工艺中许多器件的重要参数和性能都与薄层电阻有关,为提高厚、薄膜集成电路和片式电阻的生产 ,需要使用设备仪器如探针台、激光调阻机对其进行测试或修调。一般所用的测量仪器或设备都包含连接、激励、测量和显示单元,有时还有后期数据处理单元。采用不同的测量方法和不同的连接方式引入的测量误差不同得到的测量也不同。通常开关矩阵中继电器触点闭合电阻为1Ω左右,FET开关打开时的电阻为十几欧,引线电阻为几百毫欧。如何根据需要减少测量误差是测试技术的关键之一。 2、电阻测试基本原理 在电阻测试中我们常采用恒流测压方法、惠斯通电桥(单臂电桥)和双臂电桥方法。 2.1 恒流测压方法