以中心输出波长为1315 nm的可调谐分布反馈式(DFB)半导体激光器作光源,用反射率为99.7%左右的平凹镜组成长38 cm的稳定光学谐振腔作吸收池,建立了一套基于可调谐半导体激光器的积分腔输出光谱(TDL-ICOS)系统。对TDL-ICOS实验系统和半导体激光的波长定标做了介绍;用ICOS技术获得了水汽在7612.026,7612.269和7610.224 cm-1等3个波长处的吸收光谱,探测灵敏度达2.02×10-7 cm-1。研究结果表明,ICOS是一种装置简单,易于操作的直接吸收光谱技术,具有高灵敏度和高分辨率的显著优点。