利用溶胶凝胶法制备了双掺杂ZnO(Al,La)透明导电薄膜,在还原气氛(N2和H2的体积比为VN2VH2=964)下退火。通过X射线衍射(XRD)、紫外可见分光光度仪、扫描电镜(SEM)和双电测四探针等仪器重点考察了ZnO(Al,La)薄膜的退火温度和Al掺杂量对薄膜微观结构、表面形貌、光学性能和电学性能的影响。结果表明,随退火温度的升高,薄膜的(002)晶面择优取向生长趋势增强,平均晶粒尺寸增大,电阻率降低,透光率上升;随着Al掺杂摩尔分数的增加,晶粒尺寸减小,晶粒间间隙增多,电阻率先降低后升高。在Al的掺杂摩尔分数为1%,退火温度550 °C,薄膜最低电阻率为1.78×10-3 Ω·cm,可见光平均透光率大于85%。