电磁波谱中的软X射线部分位于真空紫外和常规X射线区域之间。通过精确测定,其波长约在10~0.5亳微米范围内。在这些波长处,简单表面垂直入射的反射能力很小,因此,习惯利用掠入射光学元件来聚集辐射。可是,严重的象差却限制了这类圆柱形或圆环形反射镜的聚焦特性,而单色器最好也不过具有中等分辨率,加之一般辐射光通量利用率不高,因此就需要一种在垂直入射的情况下能利用其反射性能的光学元件。据最近的参考文献报道,多层膜可满足这种要求,而且垂直入射光学元件的设计与制造在技术上都是可行的。这表示用于同步加速器装置(目前,在该装置中一米长的掠入射反射镜把辐射线截住并成象)的软X射线光学器件和软X射线天文学,以及研究高温等离子体辐射等方面都取得很大进展。