菲涅耳微透镜列阵衍射效率的测试与分析

归纳了目前二元位相型菲涅耳微透镜列阵衍射效率测试中所用各种衍射效率的不同定义,提出规范定义的建议。并设计了测量衍射效率的系统,方法简单易行,适于测试具有微小单元尺寸的菲涅耳微透镜列阵的衍射效率。