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提出了一种极紫外光刻掩模多层膜相位型缺陷的形貌重建方法。采用表面与底部形貌参数表征相位型缺陷的三维形貌;采用原子力显微镜测量缺陷表面形貌参数;采用傅里叶叠层成像技术重建含缺陷的空白掩模空间像复振幅;采
一种新型的紫外光通信调制体制，焦艳华，钟志，在通信速率一定的情况下，为降低紫外光通信中的误码率，本文提出了一种基于Ｍ进制数字脉冲周期调制（MDPCM，M-ary Digital Pulse Cycle
实验研究了在大体积紫外光预电离的TEACO2激光器中用工业纯Ar部分取代He时,不同Ar取代比分对放电稳定性,激光输出能量的影响以及掺入少量正三丙胺后使放电稳定性得到一定改善的结果。
紫外光学在光刻方面的巨大作用
紫外光学:老光学材料寻求新用途
在曝光线宽为90 nm的投影光刻机中,准分子激光光源发出的矩形截面光束,需要进行一维扩束,以获得光束整形单元所需的正方形截面分布。现有的这类扩束单元分别存在严重的相干散斑效应和严格的装调公差等不足。基
在MgF2基片上,采用电子束蒸发镀膜法制备了掺锡氧化铟(ITO)导电基底,研究了充氧及退火对ITO薄膜电阻及紫外透射比的影响。并与传统的金属导电基底Au和Cr进行了性能比较。用光学显微镜、四探针测试仪
投影物镜波像差在线检测技术是极紫外光刻(EUVL)实现32 nm及其以下技术节点的关键技术,对于光刻机的整机集成具有重要研究意义和实用价值。介绍了目前国际上极紫外光刻投影物镜波像差在线检测技术的最新研
针对无线紫外光散射通信的特点,介绍了无线紫外光通信中三种方式的链路间干扰,建立了基于蒙特卡罗的无线紫外光非视距(NLOS)单次散射通信仿真模型,并用理论公式验证了该模型的正确性。利用该模型仿真了无线紫
研究了高功率固体激光驱动器运行于高通量、长脉冲条件下,大口径三倍频KDP晶体中强紫外光激发的横向受激拉曼散射(TSRS)效应,重点分析了受激拉曼散射(SRS)过程产生的散射光场峰值功率密度、峰值通量与
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