针对传统微小孔制造工艺在加工过程中遇到的微冲头的制造、冲头与模具的对准性等难题,提出一种基于激光驱动飞片技术实现对工件微冲裁的新工艺。由于飞片在强激光的辐照下会产生较高的动能,当其碰撞到工件上时会产生强大的动态加载压力,结合模具的限制作用,便可实现对工件的冲裁。利用微铣刀在印刷电路板上加工出直径为1 mm的微小孔作为模具,调节作用于飞片上的激光能量大小,实现了对铜箔工件的冲裁,利用XTZ-FG型体式显微镜和蔡司公司AxioCSM700真彩色共焦扫描显微镜对实验结果进行了观察,发现冲裁后的工件不但具有规则的圆孔特征,而且具有较好的光洁度。用数值模拟的方法对该冲裁过程进行分析,证明了该工艺的可行性,为减少实验次数、优化工艺参数奠定了基础。