用磁控溅法在载波片上制备了TiNx/Ag/TiNx复合膜。采用X射线衍射、X射线光电子能谱(XPS)研究了复合膜的晶体结构和TiNx薄膜的化学成分;用紫外可见分光光度计分析了氮气流量、各层膜膜厚对复合膜可见光透射率的影响。研究表明,TiNx薄膜为非晶态,Ag膜为晶态;TiNx薄膜提高了复合膜的远红外反射率,且其表面存在大量Ti-O键;复合膜的可见光透射率随着氮气流量的增加而变大,随着Ag膜厚度的增加先增后减。当氮气流量为55 cm3/s,膜层构造为TiNx(16 nm)/Ag(16 nm)/TiNx(32 nm)时,复合膜在550 nm处的可见光透射率达到85%,远红外反射率达到92%,辐射率