偏振全息干涉术测量多层介质膜的反射相位畸变

本文介绍用偏振全息干涉术测量多层介质膜的反射相位畸变.指出在会聚或发散光束中使用的反光和分光元件,应用于高质量成像光学仪器中和某些高精度干涉仪中时必须认真考虑它引入的相位畸变和相位色散.理论计算和实验结果一致说明对于特定的元件,相位畸变和相位色散可达波长量级.