对于作为紫外波段和真空紫外波段中高输出、高效率激光器的准分子激光器来说,七十年代正是黄金时代。如表1所示,自1972年真空紫外激光器出现以来,研究了许多真空紫外准分子激光器、紫外准分子激光器。最近,可见波段准分子激光器的研究也兴盛起来(参看表1)。