非球面反射镜的弹性变形加工

yoof29605 9 0 PDF 2021-04-18 01:04:41

本文研究了利用弹性变形加工离轴抛物面的方法,并给出了一个特定的离轴抛物面的实验结果。镜面最大误差<1/4λ,均方根误差为0.O67λ,λ=0.6328μm。

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