基于MEMS的低噪声低频电化学加速度计

石油勘探和某些地质灾害的预警越来越依赖于可检测1Hz以下频率振动的加速度计,但是基于Si或SiO2结构的加速度计在该频率范围内却表现不佳,这令人感到尴尬。 电化学加速度计于1990年代开发。 以流体学为惯性质量,电化学加速度计不仅在低频下显示出优异的性能,而且具有宽广的动态范围。 然而,传统的电化学加速度计的制造Craft.io相当复杂,并且由于电极的不一致性和不对称性而无法消除噪声。 为了解决这些问题,本文提出了一种基于MEMS的方案,包括设计,制造和封装。 最后在两个条件下测试了电化学加速度计(EAM)的性能。