纳秒激光熔覆硅纳米薄膜的仿真分析及实验研究

以重掺杂硼的纳米硅浆料为硼源, 采用纳秒激光熔覆工艺, 在钝化发射极及背接触(PERC)电池背面形成了重掺杂硼的硅熔覆层。通过建立三维瞬态温度场的有限元仿真模型, 并利用单因素仿真实验, 得到了激光工艺参数对温度场的影响规律, 初步确定了各激光工艺参数的合理范围。利用极差分析获得了激光工艺参数与激光熔覆温度场分布的相互作用规律。将激光熔覆工艺兼容到PERC电池的制备实验中, 结果表明:仿真模型与实验结果较为吻合, 电池的平均光电转化效率提升了0.27%。