稀有气体卤化物的受激辐射增益曲线带宽为200 cm-1,它允许放大亚皮秒脉宽的光脉冲。在早期的实验中,短脉冲准分子激光振荡放大系统的振荡源是采用准分子激光泵浦染料激光的倍频及放大技术。要将几台准分子激光器锁模,脉冲幵关之间维持高精度的同步是很复杂的。