准分子XeCl的增益观测
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准分子激光束的喇曼组束
受激喇曼散射可以将紫外准分子激光辐射频移到特定的近紫外或可见光波长,采用喇曼整形技术可以改善斯托克斯光的光束质量,本文报道喇曼组束提高喇曼整形效率的实验结果.
6 2021-02-17 -
KrF准分子激光器的被动锁模
利用几种可饱和吸收染料,巳实现KrF横向放电准分子激光器的模式锁定,其脉冲宽度小于2亳微秒,峰值功率约为1兆瓦,调制深度为85%。
7 2021-02-08 -
准分子激光器出口巴基斯坦的故事
准分子激光是20世纪70年代末到80年代出现的新型激光器。它的输出波长在紫外波段,具有脉冲能量高、光束均匀性好等优点,广泛应用于染料激光器的抽运源、激光光刻、激光退火和激光医疗等领域。
5 2021-02-07 -
准分子激光光束能量均匀化的研究
准分子激光光束能量均匀化的研究,一篇完整的广工本科毕业论文
11 2020-08-19 -
准分子激光直接刻蚀单晶硅研究
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13 2020-07-17 -
ArF准分子激光器线宽压缩技术
ArF 准分子激光器是实现45 nm 技术节点光刻的主流光源。综述了准分子激光器的研究现状,介绍了主振荡功率放大(MOPA)与种子注入锁定系统(ILS)双腔结构以及主要波长分离元件,着重介绍了深紫外波
11 2021-03-27 -
准分子激光器发射寿命超过10
西德Lambda Physik公司的一种XeGl准分子激光器,在激光脉冲发射超过1010次时仍无需更换闸流管、电极、电容器和电源,超过以前的寿命试验结果。公司使用的试验激光器,放电装置经过改进。对这种
5 2021-02-23 -
准分子激光微透镜整形均束装置
报道了248 nm 准分子激光微透镜整形均束装置的研制结果。实际采集并拍摄了248 nm 准分子激光光能量分布的彩色图像,使用Matlab分析处理该图像并提取了相关信息进行计算,通过光学软件ZEMAX
21 2021-02-23 -
用XeF准分子激光为凸版直接制版
本文叙述用准分子激光束将原始文字转移到感光性树脂板上的直接凸版印刷工艺。光敏塑料树脂板经300~400亳微米紫外线曝光。光源可用能长时间曝光的高压汞蒸汽灯。若采用产生高强度紫外光束(350亳微米)的氟
9 2021-02-10 -
准分子光学需要审慎地选择短波长材料
准分子激光器的出现,使得在真空紫外光谱区能产生十分之一瓦的功率(每脉冲十分之一焦耳能量),这样,激光光学元件的材料选择就成为一个重要问题。对于不同的波长、功率和脉冲速率,各种材料都呈现出一些在精确的实
8 2021-02-09
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