零位补偿检验是现代光学用于检测非球面的主流方法。根据实际检测需要,提出既可进行补偿检验,又可进行干涉检验的一种新型干涉零位补偿检验方法。干涉零位补偿检验的原理是:在零位补偿检验的基础上,将零位补偿系统的第一面改为与激光点光源同心的参考面,从同心参考面反射回来的参考波面与通过零位补偿检验系统的待检非球面反射回来的待检波面相干涉实现干涉零位补偿检验的目的。依据三级像差理论,设计了零位补偿检验的光学系统,给出像差理论分析和实际设计评价结果,当待检非球面镜的孔径角2u 小于1 4.5 时,系统的剩余波像差优于λ/170 。通过对该方法进行原理性实验,充分证实,干涉零位补偿检验是行之有效的。