中国等离子体控制技术行业产业链上游为零部件供应商,包括传感器、可编程控 制器、射频电源、真空电容器等供应商。 (1)传感器、可编程控制器 传感器、可编程控制器是等离子体控制技术的核心配件,用于获取等离子体电流、 位置和形状大小信息,提高等离子体控制技术执行控制的水平。1在传感器领域,目前中国 传感器企业数量稀少,知名企业代表包括歌尔股份有限公司、美新半导体有限公司等, 其制造工艺、技术以及经验与全球头部企业存在差距;2在可编程控制器领域,中国 可编程控制器企业多以组装和代加工业务为主,缺乏核心制造技术,致使中国可编程 控制器设备不具备市场竞争力。现阶段,可编程控制器市场主要被德国西门子股份