靶材行业报告:溅射靶材

镀膜的主要工艺有物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)。(1)PVD 技术是目 前主流镀膜方法,其中的溅射工艺在半导体、显示面板应用广泛。PVD 技术分为真空蒸镀法、 溅镀法和离子镀法。三种方法各有优劣势:真空蒸镀法对于基板材质没有限制;溅镀法薄膜 的性质、均匀度都比蒸镀薄膜好;离子镀法的绕镀能力强,清洗过程简化,但在高功率下影 响镀膜质量。不同方法的选择主要取决于产品用途与应用场景。(2)CVD 技术主要通过化 学反应生成薄膜。在高温下把含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质引入反应室,在 衬底表面上进行化学反应生成薄膜。制造加工:塑性变形、热处理、控制晶粒取向:需要根据下游应用领