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用于制造微电子器件的薄膜都是使用某种沉积技术形成的,该术语是指在基板上形成沉积物。在半导体器件制造中,以下沉积技术(及其常用的缩写)为:
利用脉宽为45 fs的超短脉冲强激光系统, 进行了强激光与微毛细管相互作用的初步实验研究。 成功地观测了超短强激光作用下不锈钢毛细管和玻璃毛细管的X射线谱, 获得了重复频率为10 Hz具有较好定向性的
设计了一种介质加载石墨烯等离子体波导,研究了不同结构尺寸的波导模场分布及传输特性。仿真结果表明,当石墨烯的化学势为0.7 eV、波导脊宽度和脊高度均为1000 nm时,介质加载石墨烯等离子体波导的模式
T型表面等离子体分光器的研究，陈靖，陈宗强，提出了一种基于金属-绝缘体-金属（metal-insulator-metal,MIM）结构的T型表面等离子体分光器。该结构由一个T型波导和两个圆盘共振腔组成
CNG发动机等离子体助燃数值模拟，张梦圆，汪春梅，针对等离子体强化CNG发动机的CNG发动机等离子体助燃数值模拟燃烧特性，本文利用Chemkin软件多区模型，探究不同种等离子体和添加臭氧�
常压等离子体退除PVA浆料机理探讨，蔡再生，邱夷平，通过常压等离子体处理后PVA失重分析、PVA浆料在水中溶解率的变化、等离子体处理与常用H2O2退浆比较、PVA薄膜XPS和FT-IR分析，讨论常压等
本文详细介绍了如何实现激光等离子体电子密度分布的测量
我们提出了一个微观模型，用于高多重质子-质子碰撞中的集体效应，其中多个partonic次碰撞产生了密集的弦系统。通过晶格计算，我们知道QCD弦是横向延伸的，并且我们认为这会导致横向压力和膨胀，类似于无
为了研究和诊断箍缩聚变的聚爆靶高温等离子体内部的形状、分布及各种运动过程,基于晶体布拉格衍射,研制了新型球面弯曲晶体能谱成像系统。其核心元件是石英球面弯曲晶体(1010),弯曲半径为200 mm。在中
大型强子对撞机设施的重离子碰撞产生了夸克-胶子等离子体（QGP），对于中心碰撞，其能量密度和温度比RHIC中心碰撞中产生的等离子体高。 但是，足够多的外围LHC碰撞会导致产生的等离子体具有与“中央”
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