Piezoelectric MEMS Resonators，即压电MEMS谐振器，在微系统和纳米系统中展现了引人注目的技术特点。这种谐振器利用压电效应在微观尺度上引发振动，其在高灵敏度和稳定性方面的表现备受关注。作为微型系统和纳米系统中的重要组成部分，压电MEMS谐振器在无线通信、传感器技术和精密仪器等领域发挥着关键作用。其独特的设计和制造理念使得它成为当前科技研究的热点之一。微系统与纳米系统中的Piezoelectric MEMS Resonators展示了微小尺度上振动能量的创新应用，为科学研究和工程应用提供了新的可能性。