采用射频磁控溅射技术，在不同衬底温度下制备了ZrO2-8%（wt）Y2O3薄膜。利用X射线光电子能谱(XPS)对薄膜表面进行了全谱和窄谱分析。结果显示，不同衬底温度下沉积的薄膜表面组成存在差异，但均存在明显的碳污染。此外，Zr、Y、O元素的Zr3d、Y3d和O1s结合能相较于块体材料发生偏移，且偏移程度与衬底温度相关。