不同工艺规范的离子束、电子束、原子束结合沉积NiCoCrAlY-ZrO2?Y2O3热障复合涂层试样进行了1000C、300小时等温氧化及金相、电子探针、XRD分析。结果表明，沉积的涂膜具有优良的抗氧化性能，基体缺陷导致涂膜局部剥落是本试样涂层高温氧化失效的原因。