论文研究原子层沉积生长Al2O3薄膜表面钝化机理的研究 .pdf

智能剥离工艺硅表面腐蚀失效机理探究，董磊，，智能剥离工艺是SOI制成过程中较为常用的工艺之一。一些硅相关缺陷对于即将来临的低纳米IC产品来说显得更加敏感。在低于13nm制成的IC�

在实际的光电应用中，荧光活化的镧系元素发光材料的主要缺点是原材料的高成本以及取决于镧系元素离子的特定颜色的限制。在这项工作中，通过TEOS的水解和缩合反应成功地合成了发射红色，白色和蓝色发光的Al2O

钝化层与器件可靠性研究，李雨辰，何友琴，本文采用了X光电子能谱仪（XPS）、扫描电镜、二次离子质谱仪（SIMS）等多种分析手段对某半导体器件厂失效器件进行失效原因分析，并�

采用原子层沉积(ALD)技术在石英管表面制备了薄膜,研究了该薄膜的均匀性,以及石英管的内径、外径、长度对沉积薄膜均匀性的影响。以单波长减反射膜为研究对象,实验测试的反射光谱与仿真结果一致,石英管表面最

黑硅的表面态研究，邓彤，刘爱民，黑硅以其奇特的光电性能在太阳能电池领域得到了广泛关注，本文采用在传统金字塔结构硅衬底上利用两步法刻蚀纳米线阵列的方法制备

通过关注Ge的氧化动力学和Al2O3封顶的情况,提出了一种考虑GeO解吸通量以及氧的扩散的改进的Deal-Grove模型。此外,介绍了从整个氧化过程中提取解吸通量的方法。

采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD),在单晶硅衬底上生长氮化硅(SiN)薄膜,再对薄膜进行快速热退火处理,研究了在不同温度下SiN

在应用分形理论对凝聚态Al2O3夹杂物形貌结构进行定量分析的基础上,建立了不同尺寸形貌凝聚态Al2O3布朗运动的控制方程。使用Matlab编程,对不同初始条件下钢液中微观区域内Al2O3夹杂物颗粒之间

Al2O3改性MDI型聚氨酯弹性体的制备及力学性能，陈宇飞，张清宇，聚氨酯弹性体(PU)具有良好的力学性能，在建筑、家具、服饰上均有广泛的应用。因其用途越来越广泛，所以对其的力学性能要求也越来�

兆电子伏特光子辐射场中Al2O3的剂量学特性，陈少文，唐强，用EGSnrc/DOSRZnrc程序模拟计算水体模中Al2O3剂量计的吸收剂量和剂量计所在处介质的实际吸收剂量，并计算吸收剂量换算因子。剂量