经过了最近二百年来人类的努力，光学薄膜已经成为现代光学的重要组成部分。现在，人们都认识到没有光学薄膜，就没有现代的光学仪器。在这二百多年的发展过程中，光学薄膜已经建立了一整套完整的光学理论——薄膜光学，发展了自成体系的膜系设计方法，设计并制造了各类光学薄膜，如增透膜，分光膜，反射膜，截至滤光片和带通滤光片等，并且开始形成自己的产业。回顾历史，薄膜光学最早的萌芽是17世纪“牛顿环”的发现，但用涉原理对牛顿环做出科学解释要晚150年，即1801年杨（Young）在世界上第一次阐述光的干涉原理之后这种现象才得到圆满的解释。薄膜光学真正的起步应该从1817年夫琅和费（Fraunhofer）用酸蚀法在世界上制得第一批增透膜和1899年出现的法布里一珀珞（Fabry-Perot）标准具算起，法布里一珀珞标准具是带通滤光片的基本结构。1873年，麦克斯韦的巨著《论电与磁》出版，该书从理论上和本质上证明了光波是电磁波，为波动光学的发展，亦为薄膜光学的发展奠定了理论基础。但是直到19世纪末，人们都没有找到实际解决制造各种薄膜的工艺方法和膜系计算分析手段，因此在20世纪以前是薄膜光学的早期发展阶段。1930年油扩散泵的出现使得工业制造各种薄膜成为可能，接着在试验室制造出单层反射膜，增透膜，分光膜和金属的法布里一珀珞干涉滤光片。在上述实际工作的推动下，从40年代开始，薄膜光学进入全面发展时期，相继出现了各种薄膜光学理论和膜系计算方法。到了60年代，激光、空间技术和光谱技术的飞速发展和电子计算机的推广应用，推动了光学薄膜的飞速发展。