MEMS accelerometer

微机电系统(MEMS)导论,英文版书籍，第二版

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MEMS行业综述，让你快速了解国际先驱们的工作，战略学术制高点。

●MEMS加速度计与陀螺仪的工作原理，设计中的挑战与解决办法；●各MEMS传感器参数所代表的意义；●有趣的应用分享；●深入洞悉利用MEMS传感器所实现的倾角测量应用。

MEMS惯性传感器在当今的众多个人电子设备中发挥着重要作用。 小尺寸、低功耗、易集成、强大功能性和卓越性能,这些因素促使着智能手机、游戏控制器、活动跟踪器、数码相框等装置不断创新。 此外,MEMS惯性

MEMS入门的资料，详细介绍MEMS器件

MEMS器件目前主要应用于汽车和消费电子,未来在医疗、工业、航空航天市场也将逐渐普及。那么MEMS是什么?有什么特点?MEMS设计与制造面临哪些困难?本文将会一一解答。 MEMS是什么? 微机

主要针对不同的惯导系统来进行说明，并对不同的陀螺仪进行介绍，最后介绍不同陀螺仪惯导系统的应用领.

针对国际MEMS发展趋势和未来的产业化前景,结合我国社会经济发展的需要和国家竞争前的核心技术发展战略,以支撑我国MEMS产业化发展的应用基础为切入点,掌握MEMS材料、设计、制造、检测、工艺、装备与系

本文主要从结构上进行了创新,通过计算机辅助设计仿真分析得到了理论解,一定程度上满足了设计初衷,但在工艺上还不成熟。更低的驱动电压和更高的开关频率仍是亟待解决的问题,另外如何保证实际产品的可靠性、实用性