●MEMS加速度计与陀螺仪的工作原理,设计中的挑战与解决办法;
●各MEMS传感器参数所代表的意义;
●有趣的应用分享;
●深入洞悉利用MEMS传感器所实现的倾角测量应用。
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The field of microelectromechanical systems (MEMS), particularly micromachined mechanical transducer
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MEMS工艺
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