Sub-65nmHalo注入对NMOS阈值电压不匹配性影响的研究,赵杰,程秀兰,本文主要介绍关于通过Halo离子注入来改善sub-65nmNMOS器件阈值电压不匹配性.随着半导体器件尺寸的不断缩小,制程工艺的波动对阈值电压