准分子激光直接刻蚀单晶硅研究

描述了两种典型准分子激光(XeCl:308nm,30 ns和ArF:193 nm,17 ns)对三种常用聚合物PC,PI和PMMA的刻蚀实验研究.着重讨论准分子激光对聚合物的刻蚀机制,并比较了这两种激

利用248 nm纳秒准分子激光, 采用掩模投影和石英玻璃前表面直写刻蚀的方法, 研究了激光脉冲能量密度、重复频率、扫描次数对微通道裂损的影响规律, 分析了石英玻璃激光刻蚀及裂损的机理。结果表明, 24

采用波长248 nm的KrF准分子激光器,对Al2O3陶瓷片及玻璃片的精密加工进行了研究,探讨了各种工艺参数对加工质量的影响规律。同时研究了激光工艺参数对材料表面粗糙度的影响, 并且对加工后工件的表面

给出国产阶跃型石英光纤的XeCl准分子激光感生破坏特性的测量结果,并对其形成原因进行了分析。

建立了一套6束百焦耳23 ns角多路KrF准分子激光ΜΟΡΑ系统,靶上能量达到120 J,靶上功率密度可以 达到10^{13} W/cm2。目前正在进行离子飞行时间测量、等离子体温度测量等靶物理研究。

在直接驱动激光聚变中,变焦辐照可使得激光焦斑随聚变靶丸缩小,可增大激光与靶的能量耦合效率。基于像传递技术并利用电光削波开关中的检偏棱镜同时实现光脉冲的分束与波形分割,这种方式可充分利用脉冲激光能量,可

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利用“闪光二号”相对论电子束加速器研制了百焦耳级XeCl和KrF准分子激光器,激光器激活体积24 l,输出口径20×20 cm2,泵浦功率密度1.5~2.0 MW/cm3。XeCl激光器最大能量136

用腔长为7.5cm~20cm的紫外光预电离Blumlein横向放电泵浦XeCl准分子激光器可产生半宽为1.8ns~5ns的短脉冲输出。速率方程的计算机模拟所给出的激光振荡初始尖峰和实验结果做了比较。

实验研究了大体积XcCl准分子激光的特性,包括X光预电离均匀性的改进,非稳定共振腔输出.获得最大单脉冲能量为1.6J.