描述了两种典型准分子激光(XeCl:308nm,30 ns和ArF:193 nm,17 ns)对三种常用聚合物PC,PI和PMMA的刻蚀实验研究.着重讨论准分子激光对聚合物的刻蚀机制,并比较了这两种激光对三种聚合物的刻蚀性能.