基于Al/TiOx/Al结构的低成本双极性阻变存储器件,李颖弢,袁鹏,本文基于与CMOS工艺完全兼容的TiOx二元金属氧化物材料,采用价格低廉的金属Al作为上下电极,制备了一种成本低廉的Al/TiOx/AlRRAM存储器��