热退火对溅射沉积钨氧化物薄膜的影响,秦玉香,沈万江,利用反应磁控溅射法在氧化铝基底上沉积氧化钨薄膜并分别与200、300、400和600oC空气气氛退火4h。研究了热退火对氧化钨薄膜微结构和气��