干涉图的处理是光干涉计量中的关键技术。现代干涉测量技术具有高精度、非接触性和大视场等的测量优点。采用泰曼-格林型干涉系统，建立被测物与干涉相位之间的数学模型，通过MATLAB软件，实现对被测参数的自动化测量。本文基于二维快速傅里叶方法的基本原理提出了一种新的相位解包算法——菱形种子算法¬。该算法通过识别一个种子点，然后依次向相邻四点扩展，再把这四个点作为第二批种子点，依次向各自的四点邻域扩展，以菱形轨迹遍历所有的有效信息点，以到达整个图象的相位解包。本文采用该算法测量薄膜样片的厚度，该算法测试的结果与ZYGO测试结果比较，PV误差为0.0364λ，RMS最大误差为0.002λ，说明运用该算法虽然处理的是单幅干涉图但可以得到高精度的相位分布。