化学机械研磨中划伤的制程失效模式分析的改进,曹雄伟,,划伤是二氧化硅化学机械研磨中的一种主要的缺陷,比较严重的划伤会形成钨残留,从而导致金属间短路以至降低良率。至今为止,没有