SiNx基阻变存储器的单双极阻变特性演变探究,尤嘉旸,沈自晓,本文首次探究了SiNx基阻变存储器单双极特性的演变机制,发现氢化非晶氮化硅薄膜具有典型的双极阻变特性;而纳米晶硅镶嵌的氮化硅��