ZnO/Al/ZnO多层复合透明导电薄膜制备与性能研究,王胖胖,邱志勇,本文采用直流磁控溅射方法室温下在玻璃基板上制备了氧化锌/铝/氧化锌(ZnO/Al/ZnO)多层复合透明导电薄膜(transparentconductivefilm)。基