二维材料石墨烯、低维化合物材料硒化铟等光电性能良好的半导体材料,可 以与硅衬底结合制备高响应度高探测率等高性能的光电探测器。由于石墨烯与硅 接触时易被调控,本论文主要研究了将氟化石墨烯、掺硼硅量子点等材料与石墨 烯/硅光电探测器结合,对石墨烯进行调控,提升器件的响应特性。