ITO电极与n-ZnO薄膜的欧姆接触特性,宋力君,杜国同,利用射频磁控溅射方法在n-ZnO薄膜上制备了厚度为100nm的铟锡金属氧化物(ITO)电极。为了降低ITO电极和n-ZnO薄膜之间的接触电阻,在高纯