蓝宝石CMP工艺中粗糙度的控制技术,刘玉岭,檀柏梅,蓝宝石是第三代半导体材料氮化镓的主要衬底材料,蓝宝石的表面质量直接影响器件的性能。本文对蓝宝石衬底CMP进行了研究,分析了影