X射线双晶衍射在半导体材料及结构分析中的应用,关志强,唐吉龙,X射线双晶衍射是半导体材料及结构的重要分析手段,广泛应用于半导体薄膜,超晶格及量子阱等材料和器件的性能表征方面。文章综述�