分析了蜂巢形基底上纳米颗粒SEM图像的特征，阐明了纳米颗粒特征值提取所遇到的问题。借助形态学滤波、直方图均衡、颗粒分析等图像处理方法，解决了图像二值化处理后纳米颗粒图像上的大孔洞、粘连颗粒影响粒径提取等问题。给出了蜂巢形基底上纳米颗粒SEM图像处理算法，实现了占空比、粒径分布等纳米颗粒特征值提取的目标，为进一步对纳米器件的参数进行定量评价和改进奠定了基础。