脉冲偏压磁过滤电弧离子镀TiN薄膜的组织结构及耐磨性,李晓芳,张岩,利用脉冲偏压磁过滤电弧离子镀在高速钢(M2)基底上制备了厚约2.5μm的TiN薄膜。用场发射扫描电镜(FESEM)观察薄膜表面和断面形貌,�