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倾斜沉积制备雕塑薄膜的研究进展
采用一种新工艺在Si和Si3N4衬底上制备了性能优良的氧化钒薄膜,并对其微观结构和光电特性进行了研究。测试结果表明采用新工艺所制备的氧化钒薄膜在相变前后电阻率变化达到3个数量级,红外透过率在相变前后改
薄膜体声波谐振器(FBAR)具有体积小、工作频段高、性能强等优势, 在滤波器领域有广泛的应用前景, 其最核心的功能层为压电薄膜。本文采用磁控溅射方法, 在6英寸硅片上制备了AlScN压电薄膜。对AlS
Li4Ti5O12薄膜的Sol-Gel法制备与性能研究，张盼，徐华蕊，以CH3COOLio2H2O、Ti(C4H9O)4、乙二醇为原料，不锈钢薄片为基底，采用溶胶-凝胶(sol-gel)技术制备了厚度
硝基芳烃类隐藏炸药检测用荧光薄膜的制备及性能研究，李慧慧，吕凤婷，通过自组装方法将荧光小分子芘经由包含三乙基四胺结构的连接臂以单分子层形式化学结合于玻璃表面，制备了一种对硝基芳烃类炸药微
采用射频感应耦合离子源(ICP)在硅基底上沉积了DLC薄膜,并利用离子束溅射固体单晶石墨的方法掺入Si元素。通过原子力显微镜(AFM)和拉曼光谱对DLC薄膜的表面形貌及结构进行了分析表征。并用UTM-
通过磁控溅射方法制备了Ag掺杂Cu2O纳米薄膜。用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电能谱(XPS)和荧光光谱仪(FLO)对薄膜的晶体结构、表面形貌、表面性能和光催化性能进行了
将不同比例的Ti粉和Fe粉的混合粉末加入到质量分数为30%的H2O2溶液中,然后把Ti片浸入其中,保持80℃低温反应72h,在Ti片上形成了Fe掺杂TiO2薄膜。利用X射线衍射仪,扫描电子显微镜,紫外
研究了烷基取代的可溶性金属酞菁化合物 Pr4MPc/PMMA的DIP薄膜的光谱特性和光存储性能.研究表明,该薄膜在可见光波段有优良的吸收和反射特性,以该薄膜作记录介质的5′′光盘的静态测试显示其反射对
近年来, 随着微机电系统(MEMS)地不断发展, 对微型材料的柔性、可加工性以及电活性提出了更高的要求。PVDF作为优秀的柔性铁电材料而备受关注。 为提高柔性PVDF薄膜的铁电性能, 研究同时使用了三
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