溶胶-凝胶法制备BaTi2O5铁电薄膜,杨莹,戴英,通过溶胶-凝胶法制备BaTi2O5薄膜。对薄膜热处理方式、温度、时间等因素对薄膜质量的影响进行了研究,采用XRD、AFM、SEM对薄膜相组成及�