界面错配对Al掺杂ZnO薄膜形貌和电学性能的影响,许爱燕,羌建兵,本工作采用射频磁控溅射方法在(100)、(110)和(111)Si基底上制备Al掺杂ZnO(AZO)薄膜,研究Si基底取向对AZO薄膜形貌和电学性能的影