HWCVD法制备非晶和纳米晶WOx薄膜,李忠岳,王春霞,氧化钨(WOx)作为重要的过渡金属氧化物之一,在许多领域具有广泛的应用,目前已发展出了多种氧化钨的制备工艺。本文利用热丝化学