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以离子束溅射沉积(IBSD)方法制备了Al2O3、Nb2O5单层膜,用红外可变角度光谱椭圆偏振仪(IR-VASE)测试了薄膜的光学常数。用原子力显微镜(AFM)测量了单层膜的表面形貌及表面粗糙度,计算
基于膜层结构的弛豫现象,建立了一个多晶膜的应力演化模型,并通过线性组合给出了复合膜的生长应力模型。利用双光束基底曲率测量装置实时测量了电子束蒸发氧化铪、氧化硅多晶膜及其复合膜的应力演化过程,并对测量结
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不同氧化物催化热解煤制氢的研究,陈博,孙秀君,在固定热解反应器中考察了具有不同酸碱性的氧化物催化剂,对神府煤热解气体产物的影响。结果表明,在相同的反应条件下,其各自的
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