硅基ZnO纳米棒阵列薄膜的表面光伏特性研究,轩君,刘爱民,为研究硅基ZnO纳米棒阵列薄膜的表面光伏特性,采用籽晶辅助化学水浴沉积法:即先用磁控溅射法在P-Si(100)衬底上制备一层ZnO薄膜作为籽