论文研究 硅基ZnO纳米棒阵列薄膜的表面光伏特性研究 .pdf

硅基ZnO纳米棒阵列薄膜的表面光伏特性研究，轩君，刘爱民，为研究硅基ZnO纳米棒阵列薄膜的表面光伏特性，采用籽晶辅助化学水浴沉积法：即先用磁控溅射法在P-Si(100)衬底上制备一层ZnO薄膜作为籽