集成电路仿真是集成电路制造的重要辅助方法,刻蚀过程是集成电路制造的一个重要的过程。使用三角形面片对刻蚀过程进行建模,并推导出连接不同面的平面和曲面的计算公式。最后给出了刻蚀显示仿真结果。结果显示,刻蚀结果清晰,绘制速度快,占用资源少,可以满足实际的刻蚀显示要求。